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鈦昇科技SEMICON Taiwan 2026全新推出高精度雷射鑽孔與先進複合電漿解決方案 布局CPO與先進封裝製程

2026-08-26
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高雄2026年8月26日 /美通社/ — 鈦昇科技E&R Engineering Corp.(股票代號:8027)長期深耕半導體雷射與電漿製程設備,將於SEMICON Taiwan 2026展示FAU(Fiber Array Unit)高精度雷射鑽孔、Glass Core/TGV及Glass Carrier等先進製程技術,並聚焦PHB-600A高精度雷射設備與R-300R Hybrid Plasma System,展現公司在精密加工、表面處理及先進封裝製程整合方面的自主開發能力。

鈦昇科技SEMICON Taiwan 2026全新推出高精度雷射鑽孔與先進複合電漿解決方案 布局CPO與先進封裝製程
鈦昇科技SEMICON Taiwan 2026全新推出高精度雷射鑽孔與先進複合電漿解決方案 布局CPO與先進封裝製程

FAU五軸雷射鑽孔精度可達±0.5 μm

因應高速光通訊及CPO(Co-Packaged Optics,共同封裝光學)對高密度光學元件的需求,鈦昇科技推出FAU高精度雷射加工方案。

針對2D FAU 3.2T、6.4T至12.8T等不同加工需求,鈦昇科技運用五軸雷射控制、精密定位及微細加工技術,鑽孔精度可達±0.5 μm,並可支援不同孔型與加工角度,提升微孔加工的精度及製程彈性。

整合Glass Core與Glass Carrier製程

隨著AI、HPC及先進封裝持續推動高密度互連與新材料應用,玻璃基板已成為產業發展重點。鈦昇科技提供Glass Core雷射加工與TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)相關製程技術,協助客戶因應新世代玻璃基板對加工精度、製程穩定性及生產彈性的要求。

在Glass Carrier應用方面,鈦昇科技提供Debonding、表面清潔與Descum等製程,協助處理暫時性載板移除後的表面清潔及殘膠問題。此外,鈦昇科技亦具備大尺寸玻璃精密切割與ABF Grooving加工能力,可應用於Lane Defined及先進封裝精密加工。

透過高精度雷射與先進電漿技術的整合,鈦昇科技可提供從材料加工、精密切割到後續表面處理的製程方案。

PHB-600A與R-300R展現雷射、電漿雙核心技術

本次展會將聚焦PHB-600A高精度雷射設備與R-300R Hybrid Plasma System。

PHB-600A專為大尺寸玻璃板材及高精度雷射加工開發,可因應先進封裝對加工尺寸、精度與製程穩定性的需求。

R-300R搭載Hybrid MW–RF Plasma System,MW與RF可獨立控制,能依不同材料及製程需求彈性調整參數,支援低損傷表面活化(Low-Damage Surface Activation)、清潔(Cleaning)、殘膠去除(Descum)、除膠渣(De-smear)及深矽蝕刻(Deep Silicon Etching)等多元製程,兼具製程彈性、表面處理效果與低損傷特性,可應用於半導體、先進封裝及新材料相關製程。

持續拓展新世代半導體應用

鈦昇科技以「Laser Precision×Plasma Technology×Process Integration」為技術主軸,相關應用涵蓋半導體、先進封裝、高速光通訊、玻璃加工及精密微加工等領域。

未來,鈦昇科技將持續深化Glass Core、Glass Carrier與FAU應用布局,提供從研發驗證、製程導入到量產開發所需的高精度設備及整合式製程解決方案。

SEMICON Taiwan 2026展位資訊

展覽日期: 2026年9月2日至9月4日
展覽地點: 台北南港展覽館1館4樓
鈦昇科技展位: M1048

鈦昇科技網站:https://www.enr.com.tw/

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高雄2026年8月26日 /美通社/ — 鈦昇科技E&R Engineering Corp.(股票代號:8027)長期深耕半導體雷射與電漿製程設備,將於SEMICON Taiwan 2026展示FAU(Fiber Array Unit)高精度雷射鑽孔、Glass Core/TGV及Glass Carrier等先進製程技術,並聚焦PHB-600A高精度雷射設備與R-300R Hybrid Plasma System,展現公司在精密加工、表面處理及先進封裝製程整合方面的自主開發能力。

鈦昇科技SEMICON Taiwan 2026全新推出高精度雷射鑽孔與先進複合電漿解決方案 布局CPO與先進封裝製程
鈦昇科技SEMICON Taiwan 2026全新推出高精度雷射鑽孔與先進複合電漿解決方案 布局CPO與先進封裝製程

FAU五軸雷射鑽孔精度可達±0.5 μm

因應高速光通訊及CPO(Co-Packaged Optics,共同封裝光學)對高密度光學元件的需求,鈦昇科技推出FAU高精度雷射加工方案。

針對2D FAU 3.2T、6.4T至12.8T等不同加工需求,鈦昇科技運用五軸雷射控制、精密定位及微細加工技術,鑽孔精度可達±0.5 μm,並可支援不同孔型與加工角度,提升微孔加工的精度及製程彈性。

整合Glass Core與Glass Carrier製程

隨著AI、HPC及先進封裝持續推動高密度互連與新材料應用,玻璃基板已成為產業發展重點。鈦昇科技提供Glass Core雷射加工與TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)相關製程技術,協助客戶因應新世代玻璃基板對加工精度、製程穩定性及生產彈性的要求。

在Glass Carrier應用方面,鈦昇科技提供Debonding、表面清潔與Descum等製程,協助處理暫時性載板移除後的表面清潔及殘膠問題。此外,鈦昇科技亦具備大尺寸玻璃精密切割與ABF Grooving加工能力,可應用於Lane Defined及先進封裝精密加工。

透過高精度雷射與先進電漿技術的整合,鈦昇科技可提供從材料加工、精密切割到後續表面處理的製程方案。

PHB-600A與R-300R展現雷射、電漿雙核心技術

本次展會將聚焦PHB-600A高精度雷射設備與R-300R Hybrid Plasma System。

PHB-600A專為大尺寸玻璃板材及高精度雷射加工開發,可因應先進封裝對加工尺寸、精度與製程穩定性的需求。

R-300R搭載Hybrid MW–RF Plasma System,MW與RF可獨立控制,能依不同材料及製程需求彈性調整參數,支援低損傷表面活化(Low-Damage Surface Activation)、清潔(Cleaning)、殘膠去除(Descum)、除膠渣(De-smear)及深矽蝕刻(Deep Silicon Etching)等多元製程,兼具製程彈性、表面處理效果與低損傷特性,可應用於半導體、先進封裝及新材料相關製程。

持續拓展新世代半導體應用

鈦昇科技以「Laser Precision×Plasma Technology×Process Integration」為技術主軸,相關應用涵蓋半導體、先進封裝、高速光通訊、玻璃加工及精密微加工等領域。

未來,鈦昇科技將持續深化Glass Core、Glass Carrier與FAU應用布局,提供從研發驗證、製程導入到量產開發所需的高精度設備及整合式製程解決方案。

SEMICON Taiwan 2026展位資訊

展覽日期: 2026年9月2日至9月4日
展覽地點: 台北南港展覽館1館4樓
鈦昇科技展位: M1048

鈦昇科技網站:https://www.enr.com.tw/

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針對2D FAU 3.2T、6.4T至12.8T等不同加工需求,鈦昇科技運用五軸雷射控制、精密定位及微細加工技術,鑽孔精度可達±0.5 μm,並可支援不同孔型與加工角度,提升微孔加工的精度及製程彈性。

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R-300R搭載Hybrid MW–RF Plasma System,MW與RF可獨立控制,能依不同材料及製程需求彈性調整參數,支援低損傷表面活化(Low-Damage Surface Activation)、清潔(Cleaning)、殘膠去除(Descum)、除膠渣(De-smear)及深矽蝕刻(Deep Silicon Etching)等多元製程,兼具製程彈性、表面處理效果與低損傷特性,可應用於半導體、先進封裝及新材料相關製程。

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展覽日期: 2026年9月2日至9月4日
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