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漾新聞|物理變晶圓!高大攜楠中打造半導體實驗室

2025-05-20
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【漾新聞記者陳雯萍/高雄報導】「音叉共振」、「摩擦力」這些耳熟能詳的物理現象,竟能應用在先進半導體製程!國立高雄大學應用物理學系副教授余進忠與高雄市楠梓高中教師蘇文健攜手合作,打造半導體實驗室並設計實作課程,學生不只動手實驗,還能一窺高科技製程奧秘,成果將於22日登場的「2025高雄教育節」中公開展出。

余進忠指出,隨著台積電晶圓22廠進駐楠梓區,周邊學校紛紛開設半導體相關課程,高雄大學本著在地共榮精神,在高教深耕計畫支持下,自2024年起與楠梓高中合作開設「半導體製程探究與實作課程」,並協助規劃實驗室,攜手蘇文健共同授課,落實跨校資源整合。

課程設計將108課綱核心素養與產業實務結合,例如模擬薄膜沉積的「音叉共振實驗」,利用磁鐵與手機APP模擬奈米質量變化,讓學生透過共振頻率變化測出0.02克差異,深入理解晶體製程背後的科學原理。

另一項核心技術「黃光微影」則以光固化溶液與紫外光模擬光阻塗佈與曝光,使用祥儀慈善文教基金會贊助的「科技寶積木式自製旋鋪機」,學生從摩擦力原理推導旋轉塗佈行為,再透過膜厚量測實際驗證旋鋪模型,從做中學習高科技應用邏輯。

楠梓高中校長郝靜宜表示,感謝余進忠及校內教師蘇文健、鄭夙芬與行政團隊的努力,目前實驗室設備完備,可進行共振膜厚偵測、晶圓酸洗、光阻塗佈、抽真空、曝光顯影與蝕刻等多項製程模擬。她強調,科技教育必須向下扎根,楠中從「數理實驗班」轉型為「AI半導體專班」,就是希望學生在高中階段就能接軌前沿產業,建立升學與職涯競爭力。

這項校際合作,不僅強化中學與大學的教學銜接,更讓科學知識落地,翻轉傳統學習方式,讓每個學生在物理中看見未來,在實作中走向高科技。

【漾新聞】#漾新聞 #高雄 #高雄大學 #楠梓高中 #半導體課程 #音叉共振 #黃光微影 #高雄教育節 #實作課程 #科技教育

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余進忠指出,隨著台積電晶圓22廠進駐楠梓區,周邊學校紛紛開設半導體相關課程,高雄大學本著在地共榮精神,在高教深耕計畫支持下,自2024年起與楠梓高中合作開設「半導體製程探究與實作課程」,並協助規劃實驗室,攜手蘇文健共同授課,落實跨校資源整合。

課程設計將108課綱核心素養與產業實務結合,例如模擬薄膜沉積的「音叉共振實驗」,利用磁鐵與手機APP模擬奈米質量變化,讓學生透過共振頻率變化測出0.02克差異,深入理解晶體製程背後的科學原理。

另一項核心技術「黃光微影」則以光固化溶液與紫外光模擬光阻塗佈與曝光,使用祥儀慈善文教基金會贊助的「科技寶積木式自製旋鋪機」,學生從摩擦力原理推導旋轉塗佈行為,再透過膜厚量測實際驗證旋鋪模型,從做中學習高科技應用邏輯。

楠梓高中校長郝靜宜表示,感謝余進忠及校內教師蘇文健、鄭夙芬與行政團隊的努力,目前實驗室設備完備,可進行共振膜厚偵測、晶圓酸洗、光阻塗佈、抽真空、曝光顯影與蝕刻等多項製程模擬。她強調,科技教育必須向下扎根,楠中從「數理實驗班」轉型為「AI半導體專班」,就是希望學生在高中階段就能接軌前沿產業,建立升學與職涯競爭力。

這項校際合作,不僅強化中學與大學的教學銜接,更讓科學知識落地,翻轉傳統學習方式,讓每個學生在物理中看見未來,在實作中走向高科技。

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余進忠指出,隨著台積電晶圓22廠進駐楠梓區,周邊學校紛紛開設半導體相關課程,高雄大學本著在地共榮精神,在高教深耕計畫支持下,自2024年起與楠梓高中合作開設「半導體製程探究與實作課程」,並協助規劃實驗室,攜手蘇文健共同授課,落實跨校資源整合。

課程設計將108課綱核心素養與產業實務結合,例如模擬薄膜沉積的「音叉共振實驗」,利用磁鐵與手機APP模擬奈米質量變化,讓學生透過共振頻率變化測出0.02克差異,深入理解晶體製程背後的科學原理。

另一項核心技術「黃光微影」則以光固化溶液與紫外光模擬光阻塗佈與曝光,使用祥儀慈善文教基金會贊助的「科技寶積木式自製旋鋪機」,學生從摩擦力原理推導旋轉塗佈行為,再透過膜厚量測實際驗證旋鋪模型,從做中學習高科技應用邏輯。

楠梓高中校長郝靜宜表示,感謝余進忠及校內教師蘇文健、鄭夙芬與行政團隊的努力,目前實驗室設備完備,可進行共振膜厚偵測、晶圓酸洗、光阻塗佈、抽真空、曝光顯影與蝕刻等多項製程模擬。她強調,科技教育必須向下扎根,楠中從「數理實驗班」轉型為「AI半導體專班」,就是希望學生在高中階段就能接軌前沿產業,建立升學與職涯競爭力。

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