台南新市1雷射公司氟氣外洩

波新聞─翁順利／台南

台南市新市區國際路一家雷射公司15日上午傳出氟氣外洩，原因是氟氣鋼瓶接頭有小洩漏，經氣體偵測器抓到，廠內緊急中止，將氣體閥關閉，全棟各公司疏散363人，目前已確認相關氣體偵測數值已歸0，且無其他洩漏，幸無人員受傷，大樓各公司基於安全考量，已讓員工提早下班。

日商極光先進雷射產品為Excimer雷射，提供作為半導體曝光裝置用，雷射使用的過程中需要用到氟氣，該公司在位於新市區的國際南科廠辦科技園區內的廠辦大樓內有多處據點，今天上午11時許，氣體偵測器發出警報，廠方人員發現氟氣有外洩情形，濃度提高到2.5ppm，立刻停止設備運作。

消防局人員穿著A級防護衣進行處置，確認閥體、鋼瓶無其他洩漏後，後續已交由毒災應變隊處理，下午3時再度入內確認無氣體洩漏。

大樓其他公司員工表示，大樓平時就有定期的疏散訓練，事發當下一接獲通知疏散，大家就依照平時訓練的內容到戶外。

南區毒災應變諮詢中心主任陳政任表示，氟氣和氯氣一樣，都是強腐蝕性也是毒性氣體，用在雷射內的激發氣體，一般場所較少用到，只有科技業會用到，科技業與環保署對毒性氣體的管制均很嚴格，氣體偵測器與遮斷系統都有發揮作用。環保局指出，該公司合法申請列管，這次氯氣外洩部分並未造成人員傷亡及損失，不會開罰。